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| 外観・寸法 ｜ 材料特性｜電気特性 |
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| ■ 外観・寸法 |
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【外観検査】 |
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【寸法検査】 |
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・ 実体顕微鏡（×8〜×40） |
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・ 穴中心距離測定（測定範囲：70×250mm） |
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・ 金属顕微鏡（×50〜×800） |
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・ 三次元寸法測定（測定範囲：400×450×150mm） |
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・ パターン検査（CAD比較） |
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・ 形状測定（×1〜 ×100,000） |
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・ 膜厚測定（0.01μm〜）Au,Ni,Ag,Pd,Sn（３層測定まで可）
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<外観検査用クリーンルーム> |
<三次元自動寸法測定器> |
<蛍光Ｘ線膜厚測定器> |
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| ■ 材料特性 |
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・ 粘度（0.5〜10,000Pa・s） |
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・ 引張試験（0〜50kg） |
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・ α線エネルギー測定 |
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・ 熱伝導率 |
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・ ビッカース硬度（荷重0.2g〜2kg） |
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<粘度測定器> |
<引張試験機> |
<α線エネルギー測定器> |
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| ■ 電気特性 |
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・ 絶縁抵抗（1×103〜1×1016Ω） |
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・ LCR（L：0.001nH〜1999.9H、C：0.01fF〜1999mF、R：0.001mΩ〜19.999MΩ） |
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・ 表面抵抗（ 1×106〜1×1012Ω ） |
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・ 静電気測定（0〜±100kV） |
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<LCRメータ、絶縁抵抗計> |
<表面抵抗計> |
<帯電圧測定器> |
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