| |
| |
 |
| |
| 環境負荷物質 ｜ 雰囲気分析｜材料分析 |
| |
|
| |
| ■ 環境負荷物質 |
| |
| 測定評価対象 ------------------------------------------------------------------ |
| |
| ・対象試料： |
|
| |
LSIチップ
（ガラスダイオード、レジンダイオードを含む）
LSI構成部材
（硬化レジン、リードフレーム、Siチップ等）
梱包材
（ダンボール、チップトレイ等） |
| ・対象元素：Cd、Pb、Total-Cr、Cr6+、Hg、Total-Br |
|
| |
| 測定方法 ---------------------------------------------------------------------- |
| |
・原子吸光光度法(ゼーマン偏光)又はICP発光分光法
(Cd、Pb、Total-Cr) |
・還元気化原子吸光光度法
(Hg) |
<蛍光X線装置> |
・吸光光度法
(Cr6+) |
・蛍光Ｘ線法（簡易分析）
(Cd、Pb、Total-Cr 、Hg 、Total-Br) |
|
| |
| 測定精度 ---------------------------------------------------------------------- |
| |
| 分析方法 |
 |
Cd |
Pb |
Total-Cr |
Cr6+ |
Hg |
Total-Br |
| |
|
定量下限（μg/g） |
| 原子吸光光度法 |
|
>1 |
>5 |
>1 |
- |
- |
- |
| ICP発光分析 |
|
>5 |
>5 |
>5 |
- |
- |
- |
還元気化
原子吸光光度法 |
|
- |
- |
- |
- |
>1 |
- |
| 吸光光度法 |
|
- |
- |
- |
>0.5 |
- |
- |
| 蛍光X線法 |
|
>5 |
>5 |
>100 |
- |
>5 |
>5 |
ELV指令及び
RoHS指令* |
100 |
1000 |
- |
1000 |
1000 |
1000 |
|
|
| |
| *RoHS指令：含有許容閾値は、2004年7月末現在、正式に決定されておりません。数値は議論中の試案です。また、Total-Brについては、RoHSのみで臭素系難燃剤について指定される予定です。 |
| |
| |
ページトップへ  |
|
| |
| ■ 雰囲気分析 |
| |
| クリーンルームの評価 ------------------------------------------------------------- |
| |
1. 陰イオン測定（F、Cl、NOx、Br、PO4、SOx等)
2. 陽イオン測定（Na、K、NH4等)
3. 重金属元素測定（F、Cu、Zn、Co、Ni等)
4. 揮発性有機不純物（シロキサン、BHC、DOP、DBP等)
5. 有機酸イオン測定（脂肪族、芳香族系有機酸等)
6. 微粒子組成（B、C、Fe、Cu、Zn、Si、Na等)
7. その他（B、P等) |
| |
<インピンジャー法> |
<フィルタートラップ法> |
<吸着管法>
|
|
| |
| クリーンルームの評価例 ----------------------------------------------------------- |
| |
<雰囲気中不純物濃度> |
| |
【はじめに】
イオンクロマトグラフ法による有機化合物評価方法は高温加熱処理を必要とせず元来の化合物を分解変化させない、高沸点化合物を評価できる等の利点がある。 |
 |
【実験】
一般大気及びクリーンルーム大気中に存在する芳香族有機酸量を評価した。 |
【結果】
GC/MSでは検出困難なフタル酸*、テレフタル酸# 等を検出できた。両大気中から様々なカルボン酸類、スルホン酸類が検出され、大気管理に対する有用性を確認した（右図）。ガソリンではなくディーゼルエンジン排気ガス中に多量に含まれている化合物が一般大気中にも多量に存在し、大気を通してクリーンルームに侵入していることが判った。
|
<有機酸イオンクロマトグラフによる雰囲気中不純物濃度> |
| |
| ページトップへ |
|
| |
| ■ 材料分析 |
| |
|
超純水中不純物評価技術 -------------------------------------------------------- |
| |
| 【評価項目】 |
| |
・アルカリ金属、アルカリ土類金属元素（Na、K、Mg、Ca）
・重金属元素（Fe、Cu、Ni、Zn等）
・アニオン（F、Cl、 Br、NO2、NO3、PO4、SO3、SO4）
・低分子脂肪族アミン（MEA、モノメチルアミン、DEA等）
・液中微粒子（>0.1μm）
・バクテリア数 |
|
| |
| 【定量限界】 |
| |
| NO. |
測定物質 |
検出下限 (ppt) |
|
NO. |
測定物質 |
検出下限 (ppt) |
| 1 |
F |
10 |
|
13 |
モノエタノールアミン（MEA) |
30 |
| 2 |
Cl |
2 |
|
14 |
モノメチルアミン |
0.5 |
| 3 |
Br |
10 |
|
15 |
ジエタノールアミン（DEA) |
6 |
| 4 |
NO2 |
3 |
|
16 |
エチルアミン |
1 |
| 5 |
NO3 |
10 |
|
17 |
ジメチルアミン |
1 |
| 6 |
PO4 |
10 |
|
18 |
トリエタノールアミン |
30 |
| 7 |
SO3 |
- |
|
19 |
トリメチルアミン |
2 |
| 8 |
SO4 |
10 |
|
20 |
ジエチルアミン |
3 |
| 9 |
Na |
0.5 |
|
21 |
Fe |
1 |
| 10 |
K |
0.5 |
|
22 |
Cu |
1 |
| 11 |
Mg |
0.5 |
|
23 |
Ni |
2 |
| 12 |
Ca |
1 |
|
24 |
Zn |
10 |
|
|
| |
| 化学材料の組成、不純物評価 ----------------------------------------------------- |
| |
| ・無機酸、有機薬液、フォトレジスト、CMPスラリー、メッキ液等 |
1. 主成分
2. 微粒子数（粒径0.1μm〜2μm迄）
3. 陰イオン測定（F、Cl、NOx、Br、PO4、SOx等）
4. 陽イオン測定（Na、K、NH4等）
5. 重金属元素不純物（Na、K、Ca、Al、Fe、Cu、Zn、Ni等）
6. 水分
7. その他（pH、粘度、樹脂濃度、紫外線吸収量） |
|
| |
| 試料表面の清浄度評価 ---------------------------------------------------------- |
| |
1. 陰イオン測定（F、Cl、NOx、Br、PO4、SOx等）
2. 陽イオン測定（Na、K、NH4等）
3. 重金属元素測定（Fe、Cu、Zn、Co、Ni等）
4. 揮発性有機不純物（シロキサン、BHC、DOP、DBP等）
5. 有機酸イオン測定（脂肪族、芳香族系有機酸等）
6. 微粒子組成（B、C、Fe、Cu、Zn、Si、Na等 ）
7. その他（B、P等 ）
1. 陰イオン測定（F、Cl、NOx、Br、PO4、SOx等）
2. 陽イオン測定（Na、K、NH4等）
3. 重金属元素測定（Fe、Cu、Zn、Co、Ni等）
4. 揮発性有機不純物（シロキサン、BHC、DOP、DBP等）
5. 有機酸イオン測定（脂肪族、芳香族系有機酸等）
6. 微粒子組成（B、C、Fe、Cu、Zn、Si、Na等 ）
7. その他（B、P等 ） |
|
| |
| 試料表面の清浄度評価例 -------------------------------------------------------- |
| |
 |
 |
| PEM法により、CSPパッケージ基板の外周と製品部分それぞれの表面不純物を抽出後化学分析評価した。 |
デジカメ、携帯電話のマイコンに使用される
マップCSPパッケージ基板。硫酸イオンで汚染されており、製造工程で硫酸化合物を使用していると推定される。また、臭素については材料中に難燃剤等の目的で含有しているものと思われる。 |
<マップCSPパッケージ基板表面の清浄度評価> |
| |
| |
| ページトップへ |
| |
個人情報の保護について
